本報(bào)訊 （記者 史玉成）近日，市場(chǎng)監(jiān)管總局發(fā)布新的電容基準(zhǔn)裝置和電感基準(zhǔn)裝置，升級(jí)高端電子元件精密測(cè)量源頭，更好支撐我國(guó)電子元器件制造產(chǎn)業(yè)升級(jí)，促進(jìn)電力、電子和通信產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

電容、電感和電阻是基本的電路元件，廣泛應(yīng)用于電力、電子和通信領(lǐng)域。高端電子元器件制造、篩選與產(chǎn)業(yè)化，都離不開(kāi)電容和電感量值的準(zhǔn)確計(jì)量。日常生活中的手機(jī)、電腦、家用電器、汽車用電子設(shè)備等消費(fèi)類電子產(chǎn)品都大量使用各種型號(hào)的電容、電阻和電感元件。小小的電子元件看似不起眼，卻蘊(yùn)含著高科技。以多層陶瓷電容器為例，它雖然只有米粒大小，卻由幾百層陶瓷和金屬電極疊壓構(gòu)成，目前最先進(jìn)的電容元件可達(dá)到千層以上。

新的電容基準(zhǔn)裝置通過(guò)激光測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)實(shí)時(shí)測(cè)量計(jì)算電容主電極的軸向長(zhǎng)度，實(shí)現(xiàn)電容單位高準(zhǔn)確度復(fù)現(xiàn)，克服了原電容基準(zhǔn)裝置無(wú)法實(shí)時(shí)溯源軸向長(zhǎng)度的難題，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了我國(guó)提出的克服端部效應(yīng)的電補(bǔ)償方案，自主研制了電容傳遞電橋，將電容量程由10pF擴(kuò)展到了100pF，進(jìn)一步提高了復(fù)現(xiàn)電容單位的能力。

新的電感基準(zhǔn)裝置采用國(guó)際上更為通用的麥克斯韋維恩電橋法，自主研制了電感基準(zhǔn)傳遞電橋和過(guò)渡標(biāo)準(zhǔn)電感器組，復(fù)現(xiàn)電感量值標(biāo)準(zhǔn)不確定度，從原電感基準(zhǔn)裝置的5μH/H提升至2μH/H。

新的電容基準(zhǔn)裝置和電感基準(zhǔn)裝置在更高的技術(shù)水平上復(fù)現(xiàn)了電容單位“法拉”和電感單位“亨利”，所參加的國(guó)際關(guān)鍵比對(duì)結(jié)果驗(yàn)證表明，我國(guó)的電容和電感量值復(fù)現(xiàn)能力處于國(guó)際先進(jìn)水平，進(jìn)一步提高了我國(guó)在國(guó)際電磁阻抗計(jì)量領(lǐng)域的影響力和話語(yǔ)權(quán)。

新的電容基準(zhǔn)裝置和電感基準(zhǔn)裝置能夠更好地滿足我國(guó)航空航天、微電子等高精尖領(lǐng)域的溯源需求，相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)能解決用于地震的監(jiān)測(cè)與預(yù)測(cè)、地質(zhì)勘探、航天器發(fā)射與導(dǎo)航等領(lǐng)域的超導(dǎo)重力儀中超高精度差分位移檢測(cè)難題。其中，新的電容基準(zhǔn)裝置的電容檢測(cè)靈敏度可達(dá)1×10-9pF，可實(shí)現(xiàn)亞納米（埃）級(jí)的微位移（相當(dāng)于一根頭發(fā)絲直徑的十萬(wàn)分之一的位移變化）精確測(cè)量。同時(shí)，在微電子行業(yè)的集成電路領(lǐng)域，新的電容基準(zhǔn)裝置可解決我國(guó)微小電容量值的溯源校準(zhǔn)能力缺失問(wèn)題，為集成電路在線參數(shù)和可靠性測(cè)試提供片上阻抗標(biāo)準(zhǔn)及溯源依據(jù)。

《中國(guó)質(zhì)量報(bào)》